MX系列機型采用4"/6平臺設(shè)計，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測，也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
MX-4R/MX4RT:4英寸平臺，移動范圍:105mmX105mmMX-6R/MX6RT:6英寸平臺，反射照明移動范圍:158mmX158mm，透射照明移動范圍100mmX100mm; 帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動。
通過使用平臺適配接口，所有平臺可在MX系列機型之間通用。
全新設(shè)計的超長工作距物鏡，采用半復(fù)消色差技術(shù)，并使用多層寬帶鍍膜技術(shù)，使整個視場內(nèi)的成像清晰銳利，色彩自然，明亮舒適。
超長的工作距離設(shè)計，50X的有效工作距離達到7.8mm，100X物鏡也達到了2.1mm，大幅拓展了MX機型的應(yīng)用領(lǐng)域，5X10X、20X物鏡的設(shè)計，通過精選材料及優(yōu)化設(shè)計，使DIC微分干涉觀察的性能非常出色。
同步設(shè)計了全套明暗場兩用物鏡，適用于MX-6R機型，暗場照明亮度比傳統(tǒng)暗場物鏡提高2倍以上。
MX機型的轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計，轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制，根據(jù)MX系列機型配置及功能的不同，可以選擇不同型號的轉(zhuǎn)換器
PI103C5I型:5孔明場轉(zhuǎn)換器，帶DIC棱鏡插槽，用于MX-4R/MX4RT機型
PI103C5BDI型:5孔明暗場轉(zhuǎn)換器，帶DIC棱鏡插槽，用于MX-6R/MX6RT機型
